高振动环境

由于美新的热对流MEMS加速度计没有可移动的部件并且没有导致传感器结构出现谐振的误差,所以该加速度计非常适合于感测高振动环境中的低g<10g)、低频(<30Hz)加速度。美新的热对流MEMS加速度计具有一个自然低通滤波响应<30Hz,而传统的MEMS器件在悬臂梁的应用中都用于高重力的传感,例如撞车检测和安全气囊展开。这类的应用通常都有较硬的悬臂梁且MEMS结构具有较高的谐振频率,通常为30kHz以上。随着传统悬臂梁的工作方式延伸至低重力应用,悬臂需要较低的硬度,并且相关谐振频率需要降至5kHz以下。同时,在应用过程中,如果MEMS结构的谐振频率之上或者附近出现加力,传感器将会报告无效加速度和偏置误差。如果MEMS器件前端的放大器出现过载,美新的热对流MEMS加速度计能够消除高振动环境中的误差。

高振动环境
Thermal MEMS accelerometers are ideal for sensing low-g (<10g), low frequency (<30Hz) accelerations in high-vibration environments
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